相变存储器利用电脉冲诱导存储材料在非晶态与晶态之间切换,具有非挥发性、循环寿命长、写入速度快、稳定性好、功耗低等优点,被业界认为是下一代存储技术的最佳解决方案之一。上海微系统与信息技术研究所联合中芯国际集成电路制造有限公司,选择以嵌入式相变存储器(PCRAM)为切入点,在国家重点研发计划纳米科技重点专项、国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项(02专项)、国家自然科学基金、中国科学院A类战略性先导科技专项、上海市领军人才、上海市科委等项目的资助下,经过十余年的研究,在存储材料筛选、存储芯片设计、PCRAM的基础制造技术等方面取得系列重要科技进展。